此次清华提出的ssmb-euv也并非普通的同步辐射光源，而是基于同步辐射光源技术，针对芯片制造需求重新设计的一种电子加速器光源系统，其基本原理与同步辐射光源相同，但具体的技术方案有很大的区别。

2023年9月21日 · 清华大学唐传祥教授在《稳态微聚束加速器光源》这篇论文当中已经比较详细地阐述了SSMB的原理、实验验证、核心问题及挑战还有SSMB在芯片光刻当中的应用潜力。 并且与LPP、SR（同步辐射光源）、SRF-FEL（基于射频超导直线加速器的自由电子激光器）等光源做完对比之后发现，SSMB作为EUV光刻机的光源发生器是有一定优势的。 比如，高平均功率、窄带宽与高准直性、高稳定性连续波输出、辐射清洁还有可拓展性。 具体内容就不再赘述了，大家 …

A new source of high-power extreme-ultraviolet (EUV) light, steady-state microbunching (SSMB), is peeking over the horizon, following a proof-of-principle experiment published in Nature 1....

2024年5月21日 · In this paper, we report on experimental findings in the SSMB Proof-of-Principle experiment that confirm key aspects of the current theoretical treatment of SSMB. We show that variations of the...

2023年10月4日 · 由清华大学主导的ssmb，已经在雄安选址开工建设1千瓦级ssmb-euv光源，投资在10亿量级。 当然，ssmb技术进展不可能赶上首台国产euv光刻机，尽快达成实用工程化还得指望上海光机所的lpp-euv或者哈工大的dpp-euv。

2021年3月8日 · 基于ssmb原理，能获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射，波长可覆盖从太赫兹到极紫外（euv）波段，有望为光子科学研究提供广阔的新机遇。 《自然》同期新闻评论文章写道：“该实验展示了如何结合现有两类主要加速器光源——同步辐射光源及自由电子 ...

2023年9月20日 · 由于微聚束辐射的强相干特性以及储存环内电子束的高回旋频率特性， ssmb-euv光源可提供高平均功率、窄带宽的相干辐射，波段可覆盖从太赫兹到软x射线。

2021年2月27日 · 2月25日，清华大学工程物理系教授唐传祥研究组与来自亥姆霍兹柏林材料与能源研究中心（HZB）以及德国联邦物理技术研究院（PTB）的合作团队在《自然》（Nature）上发表了题为“ 稳态微聚束 原理的实验演示”（Experimental demonstration of the mechanism of steady-state microbunching）的研究论文，报告了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”（Steady-state microbunching，SSMB）的首个原理验证实验。 唐传祥指出，基于SSMB的EUV光源有望解 …

•SSMB is a promising high-power EUV radiation scheme and has potential advantages for applications in EUVL. •The mechanism of SSMB has been demonstrated the first time worldwide in an electron storage ring. It is the first key advance of developing an SSMB high-power EUV source. •SSMB PoP Experiment Phase II is under preparation and

2025年1月26日 · SSMB-EUV光源技术是当前前沿科技领域中的关键突破，结合了同步辐射微波电子束（SSMB）与欧洲极紫外光（EUV）的独特优势，提供了极高的光源效率和稳定性。 本文首先概述了SSMB-EUV光源技术，并深入探讨了其理论基础和关键组成部分。 接着，文章重点分析了该光源在半导体制造、材料科学、纳米技术以及医学和生物成像技术中的应用，并指出其在各领域的应用优势。 最后，文中也展望了该技术面临的挑战和未来的发展趋势，并通过案例研究展 …