对于我国投入基于SSMB的EUV技术，大家怎么看? - 知乎
在当时同步辐射装置大体分为三类，一是储存环光源，二是直线型自由电子激光（FEL），三是能量回收型（ERL）自由电子激光。 首先pass掉的是储存环光源，因为这种光源从原理上就无 …
万字浅析国产EUV光刻机的DPP LPP等离子和SSMB稳态微聚束光源 …
2023年10月4日 · ssmb光源把sr和fel结合起来了，可以得到高功率、高亮度、高重频、窄带宽的光源，而且波长可调，别说euv，就是下一代波长约6 nm的blue-x光源都能达到，而且不需要sr …
A synchrotron-based kilowatt-level radiation source for EUV
2022年2月28日 · For storage rings, the leading concept for realizing this kind of light source is the steady-state micro-bunching (SSMB) 5, 6, 7 scheme. One of the critical issues of SSMB is …
光刻机光源的演变过程，从193nm到13.5nm，光刻机激光波长的变化
2025年1月16日 · 除了国外的 dpp 和 ldd 的光刻机光源方案以外，中国开发了一个最为创新、最为颠覆性的加速器光源 ssmb-euv ，即稳态微聚束极紫外光源路线，由清华大学主导。
我国多路并进研制EUV，LPP方案进展喜人！但SSMB即将实用是误 …
2023年9月20日 · 根据这三个原理，目前EUV光源有四种可能的实现模式—— LPP（激光等离子体）、SR（同步辐射）、SRF-FEL（超导加速-高功率自由电子激光器）以及SSMB（稳态微聚 …
「一水」光刻工厂？简单聊一聊清华的SSMB-EUV - 腾讯网
2023年9月21日 · 并且与lpp、sr（同步辐射光源）、srf-fel（基于射频超导直线加速器的自由电子激光器）等光源做完对比之后发现，ssmb作为euv光刻机的光源发生器是有 ...
说说我知道的光刻机技术，清华这项突破，相当于穿插到敌后建防 …
2021年2月26日 · “大连相干光源”（fel）于2012年初正式启动，2014年10月22日正式开工建设，2016年9月24日首次出光。所以，ssmb技术大概率不能赶上首台国产euv光刻机，想尽快出 …
清华工物系在新型加速器光源 “稳态微聚束”研究中取得重大进展
2021年3月8日 · ssmb采用激光来对电子进行聚束，相比同步辐射光源常用的微波，聚束系统的波长缩短了5到6个数量级。因此，要验证ssmb的原理，需要加速器对电子纵向位置（相位）逐 …
Steady-state Microbunching (SSMB)[1]: electron storage ring from radiofrequency-focusing to laser-focusing •Replace the conventional RF cavity in an electron storage ring by laser …
•SSMB is a promising high-power EUV radiation scheme and has potential advantages for applications in EUVL. •The mechanism of SSMB has been demonstrated the first time …
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