2023年12月11日 · X射线反射率（X-ray reflectivity，XRR）是一种分析薄膜厚度、粗糙度、密度的表面分析方法。 XRR的基本原理是利用X射线在薄膜表面及界面的反射及折射光的相互干涉，它和我们了解的XRD的衍射原理无关，因此XRR不止可以分析结晶薄膜，也可以分析无定形薄膜。

XRR是一种方便、快速的分析单层或多层薄膜和表面的方法，是一种纳米尺度上的分析方法，同时可实现无损分析。 例如，通过 原子层沉积 (ALD)技术沉积的薄膜可以用XRR表征薄膜的厚度、密度和界面的粗糙度，同样也适用于其他方法制备的薄膜，如通过 分子层沉积 (MLD)沉积的有机/无机超晶格。 与 光学椭偏法 不同，该方法不需要预先了解薄膜的光学性质，也不需要假设薄膜的光学性质。 然而，XRR不能提供有关材料晶体结构的信息，并且多层膜只能在有限的深度内表 …

What Is X-ray Reflectometry (XRR)? Used to determine thickness, density and roughness for single and multilayer stacks on semiconductor wafers, XRR analysis can be performed on both crystalline and amorphous materials.

2023年10月31日 · XRR是一种方便、快速的分析单层或多层薄膜和表面的方法，是一种纳米尺度上的分析方法，同时可实现无损分析。 例如，通过原子层沉积(ALD)技术沉积的薄膜可以用XRR表征薄膜的厚度、密度和界面的粗糙度，同样也适用于其他方法制备的薄膜，如通过分子层沉积(MLD)沉积的有机/无机超晶格。 与光学椭偏法不同，该方法不需要预先了解薄膜的光学性质，也不需要假设薄膜的光学性质。 然而，XRR不能提供有关材料晶体结构的信息，并且多层膜只能 …

2023年10月20日 · GIXRR 是一种无损、快速的检测手段，具有高测量重复性，且它可以分析多层膜和单层膜内的结构。 X射线反射率测试（XRR）在高分子薄膜研究中最常用于测量高分子薄膜的厚度。 X射线反射率测试（XRR)是利用X射线在物质的表面和界面中发生的折射和反射，以及反射线之前的相互干涉所形成的干涉条纹对薄膜的性质进行研究的一种方法,可用于测量薄膜的密度、厚度、粗糙度等信息。 在测试时X射线以很小角度入射到样品表面,并以对称耦合模式和测量,即 …

2024年7月17日 · XRR是一种方便、快速的分析单层或多层薄膜和表面的方法，是一种纳米尺度上的分析方法，同时可实现无损分析。 例如，通过原子层沉积 (ALD)技术沉积的薄膜可以用XRR表征薄膜的厚度、密度和界面的粗糙度，同样也适用于其他方法制备的薄膜，如通过分子层沉积 (MLD)沉积的有机/无机超晶格。 与光学椭偏法不同，该方法不需要预先了解薄膜的光学性质，也不需要假设薄膜的光学性质。 然而，XRR不能提供有关材料晶体结构的信息，并且多层膜只能 …

作为一种非破坏性的表面敏感技术，x 射线反射率（xrr）普遍用于薄膜厚度和粗糙度的表征。 当X射线的入射角高于临界角时，X 射线束可以部分地透射进薄膜从而在界面反射。

2024年7月24日 · xrr是一种分析薄膜厚度、粗糙度、密度的表面分xrrd析方法。xrr 的基本原理是利用x射线在薄膜表面及界面的反射及折射光的相互干涉，它和我们了解的 xrd 的衍射原理无关，因此 xrr 不止可以分析结晶薄膜，也可以分析无定形薄膜 。 xrr检测的原理

x射线反射率（xrr）是一种与x射线衍射（xrd）相关的技术，正成为一种广泛使用的工具。 描述 薄膜和多层结构 . 以非常小的衍射角进行 X 射线散射可以表征低至几十 Ǻ 厚的薄膜的电子密度分布。

2024年2月25日 · X射线反射率测试 又称 XRR （X- Ray Reflectivity）是一种方便、快速的分析单层或多层薄膜和表面的方法，是一种纳米尺度上的分析方法，同时可实现无损分析。