FDC（Fault Detection and Classification，故障检测与分类）是半导体制造中的一种关键工艺监控技术，用于实时检测生产过程中的异常并分类故障类型。 FDC系统通过收集和分析设备传感器数据，能够及时发现工艺偏差、…

FDC的主要作用在于：一是避免设备故障造成的产品不良，提升产品良率；二是减少设备意外停机时间，提高产品周转率。 三是减少测试晶片运用，达到降低成本的目的. 上扬软件的Terra FDC采用「分层诊断」，透过一层层的故障侦测法则，如同天罗地网般侦测机台设备可能发生的故障诊断与分类。 Terra FDC高频次采集机台生产工艺中的关键数据，利用算法和经验模型，包括统计学算法、工艺模型的算法和人工智能算法，预配置参数的限制值，持续监控设备参数，以对设备健 …

2024年12月3日 · 近日， 格创东智 自主研发的第三代FDC产品——G-FDC设备故障侦测与分类系统（简称“G-FDC”）重磅发布。基于深厚的半导体行业Know-How和“AI+工业软件”的研发实力，格创东智G-FDC率先引入Logic规则引擎，打破了设备的模块壁垒、规则壁垒、OCAP壁垒，使 …

INFICON’s FabGuard FDC System delivers unmatched connectivity, data collection, and actionable insights to optimize semiconductor manufacturing. Engineers gain deep visibility into tool performance and process efficiency, enabling …

2008年4月18日 · This paper describes development and actual utilization of a fab-wide equipment monitoring system using a secondary port separating a primary port shared by an MES and a fab-wide FDC (fault detection and classification) system.

Definition: 机台事件识别码，在半导体行业通信标准SECS/GEM中定义，机台发报 EAP (机台自动化控制程序)系统时携带的事件编号，具有唯一性,每个S6F11 Event可由 EAP 定义所需的 VID后，在该事件发生时由机台上报资料。 Note: 常用的CEID有Recipe start&end, transfer in&out chamber, sequence start...由于chamber内的各sensor时刻在固定频率收值（比如0.5s），不可能将所有垃圾数据上传至EAP， FDC system 使用CEID去获得有价值的数据区间。 例如TF …

2024年4月28日 · FDC SV追踪数据是关键，通过AI和机器学习进行异常检测，提高系统准确性和效率。 同时，介绍了Trace Data的关键要素，如晶圆ID、芯片位置坐标和测试ID等，用于故障分析和质量控制。 在半导体行业中，FDC系统通常指的是"Failure Data Collection"（故障数据收集）系统。 FDC系统的作用是收集、存储和分析在半导体制造过程中检测到的故障或不良品数据。 以下是FDC系统的一些关键作用： 1. **故障检测**：FDC系统可以实时监测生产线上的 芯片测试 结 …

在半导体行业中，FDC（Failure Data Collection，故障数据收集）是一个关键的过程，它涉及收集、分析和利用与芯片或晶圆上的故障相关的数据。FDC系统的目的是通过分析这些数据来监控设备的状态，并识别潜在的故障原因，从而提高生产效率和产品质量。- Trace data ...

2023年1月9日 · 格创东智半导体故障侦测及分类FDC系统，对多种数据进行分析和挖掘，建立完善监控模型，实现对设备异常状况的高效监控、提前预警，为异常分析和干预提供强大工具，整体提高设备运行效率和生产力。

IKAS-FDC提供全自动故障检测和分析解决方案，集成 IKAS-PDM 模块 ，对Tool Fault/Alarm、Metrology、PM和Trace等多种数据进行分析和挖掘，建立完善监控模型，实现对设备异常状况的高效监控、提前预警，为异常分析和干预提供强大工具，整体提高设备运行效率和生产力。