干货分享！残余气体分析(RGA)技术 - 知乎 - 知乎专栏
残余气体分析 Residual Gas Analysis，简称RGA，也称做内部水汽分析Internal Moisture Analysis ，或者IVA (Internal Vapor Analysis)。 正常的空气成分按体积分数计算是：氮 (N2)约占78%，氧 (O2)约占21%，其它是稀有气体、二氧化碳、水蒸气 (H2O)等。 密封器件内部气氛对密封电子元器件的性能、寿命和可靠性有重要影响。 如果水汽含量过高，或同时还有其它的有害元素，会导致器件失效或性能参数不稳定。 内部气氛中的水汽会加速对电路的腐蚀作用，造成密封腔内部环 …
残余气体分析系统-真空系统- Pfeiffer - pvcp
深入了解残余气体分析 (rga) 进行纯度测试 由于分子污染会影响产品的功能，因此随着技术要求的不断提高，快速扩张的市场越来越重视最高水平的清洁度。
真空技术：如何使用RGA搭建气体分析系统 - 科创网
2022年5月3日 · 四极杆质量分析器利用正交射频电场来约束离子，将四根金属杆两两相接并通带有直流偏压的射频电场，两组金属杆上的射频电场相位差为180°且直流偏压极性相反。 对于四极场电位可以由以下方程进行描述： Vx/y=± (U+V0cosωt) （其中U为四极杆上的直流偏压，V0为所加射频电场的电压幅值） 将四极杆放置于坐标系内，两组杆中心点分别位于X、Y轴上时我们假设X轴上的杆直流偏置电压为正；在某一时刻射频电流幅值为负，且绝对值大于直流偏压时这一对杆带 …
The practical use of residual gas analysis in a ... - IEEE Xplore
2002年8月7日 · In this paper, we will discuss the application of a portable Residual Gas Analyzer (RGA) for characterizing and troubleshooting diffusion furnaces and rapid thermal anneal (RTA) reactors in the thermal module at Kilby Fab (KFAB) of Texas Instruments Inc.
ETAI Tech. 毅泰成科技 - INFICON 殘餘氣體分析儀 ( RGA )
FabGuard FDC combines on-line Fault Detection and Classification (FDC) capabilities with powerful tools for fab engineers to readily analyze virtually any aspect of process and equipment behavior. No other system provides greater capability to guard against wafer loss, reduce unscheduled tool downtime and improve yield.
奕瑞科技|IRAY—X光影像核心部件及综合解决方案供应商-News
残余气体分析仪RGA Residual Gas Analyzer. 作为线上同步制程监测工具，是质谱仪mass spectrometer的一个分支。质谱分析是一种将化学物质转化为气相离子，利用运动离子在电场和磁场中偏转原理，分离不同质荷比（mass-to-charge ratio质量-电荷比）离子的检测分析方法。
Vision 2000-A XD High Sensitivity RGA for ALD & CVD - MKS …
The Vision 2000-A XD Residual Gas Analyzer (RGA) improves process productivity and product quality by providing real-time trace level monitoring of various precursors, reaction byproducts, and contaminants during ALD and CVD processes.
Gas analysis system HiCube RGA - Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions …
The simple and flexible solution for gas anaysis All in one The new HiCube RGA pumping station offers you a simple, straightforward solution for your gas analysis needs. It is suitable for mobile applications, and offers high resolution and sensitivity.
JEDEC JEP144A-微电子封装残余气体分析（RGA）指南-国家数字 …
2011年11月1日 · 本文件旨在为残余气体分析（rga）过程及相关问题提供指导。 该指南描述了如何选择合适的测试实验室，包括RGA历史、测量方法以及测试中出现的问题。
一种基于RGA的工艺过程控制方法及工艺过程控制系统与流程_2
本发明实施例提供了一种基于RGA的工艺过程控制方法及工艺过程控制系统，所述系统至少包括机台Tool、残余气体分析仪RGA的传感器RGA SENSOR、RGA的控制器Sensor Controller、工厂主机Fab Host；其中，所述RGA SENSOR安装在所述Tool的指定腔室内，所述Tool通过第一通信接 …