2022年2月18日 · MEMS传感器主要优点是体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成等，是微型传感器的主力军，正在逐渐取代传统机械传感器，在各个领域几乎都有研究，不论是消费电子产品、汽车工业、甚至航空航天、机械、化工及医药等各领域。 常见产品有压力传感器，加速度计，陀螺，静电致动光投影显示器，DNA扩增微系统，催化传感器。 MEMS的快速发展是基于MEMS之前已经相当成熟的微电子技术、集成电路技术及其加工工艺。 MEMS往往会采 …

2023年4月6日 · MEMS微机械加工技术的应用，能够设计出用振动组件代替旋转盘的微型陀螺仪。 这种设计利用了电子工业开发出来的技术，十分适合于大规模制造。

NEMS（Nanoelectromechanical systems, 纳机电系统）与MEMS类似，主要区别在于NEMS尺度/重量更小，谐振频率高，可以达到极高测量精度 (小尺寸效应)， 比MEMS更高的表面体积比可以提高表面传感器的敏感程度, (表面效应)，且具有利用量子效应探索新型测量手段的潜力。

MEMS传感器是当今最炙手可热的传感器制造技术，也是传感器小型化、智能化、低能耗的重要推动力，MEMS技术促进了传感器的极大发展， 如果没有MEMS技术，传感器的未来将黯淡无光。

2024年4月28日 · 歌尔微电子（歌尔股份）常年位居“中国MEMS十强”企业名单榜首，据知名半导体市场咨询机构Yole Development 的《MEMS产业现状报告》显示，从2019年开始，歌尔微（歌尔股份）连续跻身全球10大MEMS厂商之列，也是前十名中唯一一家中国企业。 关于全球MEMS厂商排名可参看 《最新全球MEMS厂商TOP 30排名出炉！ 中国6家入榜新增2家！ 在MEMS声学传感器（麦克风）领域， 歌尔微电子于2020年超过楼氏电子成为行业第一，市场占有率居世界同行 …

2024年8月27日 · MEMS微机电系统 （Micro Electromechanical Systems）是利用半导体生产工艺构造的集微传感器、信号处理和控制电路、微执行器、通讯接口和电源等部件于一体的微米至毫米尺寸的微型器件或系统。 MEMS将电子系统与周围环境有机结合在一起，微传感器接收运动、光、热、声、磁等自然界信号，信号再被转换成电子系统能够识别、处理的电信号， 部分MEMS器件可通过微执行器实现对外部介质的操作功能. MEMS器件的基本特点. MEMS起源可追溯至20世 …

2023年9月22日 · 本文介绍了微机电系统（MEMS）技术的发展和应用领域，并展望了其未来的发展趋势。 根据Yole Group的报告，MEMS市场预计将以5%的年复合增长率增长到2028年的200亿美元。

2024年12月25日 · 智能手表和可穿戴设备：MEMS 传感器能够监测人体的运动状态（如步数、跑步速度、睡眠质量等）、生理参数（如心率、血压等）。 以智能手环中的 MEMS 加速度计为例，它可以通过感知手腕的运动来判断用户是在行走、跑步还是睡眠状态。 汽车领域：

微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。 主要由传感器、作动器（执行器）和微能源三大部分组成。 微机电系统涉及物…

MEMS (micro-electromechanical systems) is the technology of microscopic devices incorporating both electronic and moving parts.