G10-AsP Future proof - Compatible with current and future wafer sizes 75 mm | 100 mm | 150 mm | 200 mm | optional SMIF port Highest uniformity and repeatability – throughout production campaigns

G10-GaN enables seamless process transfer from today‘s tool of record AIX G5+ C Same cassette-to-cassette wafer handling „On-board“ calibration and control modes for process matching . Identical process chamber size and wafer configuration

G10-SiC 150 mm and 200 mm – dual wafer size capable – safeguard your investment into the future; Highest wafer output / m 2 in the market; Lowest cost / wafer in the market; Excellent run-to-run process performance; Highly uniform, low defect SiC …

2023年1月29日 · 新型全自动G10-AsP是投放市场的最大的200mm AsP间歇式反应器，配备原位清洁和自动卡匣式 (C2C) 晶圆传输技术。 前端首次可以配备SMIF (标准机械接口)吊舱，以进一步减少外延晶圆在室内环境的暴露。 借助内置的原位清洁功能，用户可以根据需要重新设置腔室条件——无论是在满足最苛刻要求的每个工艺运行之后，还是在受益于最高吞吐量的生产活动之后。 该平台基于成功的Planetary Reactor (行星式反应器)®技术，这项技术将多晶圆间歇式反应器概 …

2023年2月8日 · 上个月底(1/26)，德国MOCVD设备厂爱思强(Aixtron SE)官宣推出首款全自动AsP平台——G10-AsP MOCVD设备，新设备具备批量生产能力，可满足Micro LED和激光设备等领域不断增长的需求。

愛思強的MOCVD系統AIX G5+ C和全新G10-AsP提供AIXTRON行星衛星式氣浮旋轉水準技術（Planetary Technology），為下一代高解析度microLED顯示幕鋪平了道路。 早在2022年第一季，艾邁斯歐司朗即宣佈200mm產能增建計畫，在馬來西亞現有工廠實現LED和Micro LED產能。

Aixtron SE推出了新的G10-SiC 200 mm系统，用于在150/200 mm SiC晶圆上大批量制造最新一代SiC功率器件。 这种高温CVD系统是在近日瑞士达沃斯举行的国际SiC 及相关材料会议(ICSCRM)上发布的。

2023年2月14日 · 爱思强的新型G10-AsP外延工具经过精心设计，旨在满足这项应用的特殊需求。 这项全新工具是世界首款全自动AsP反应器，提供全自动“检测盒到检测盒”（cassette-to-cassette）晶圆装载以及基于原位蚀刻的清洁机制。

Highest efficiency in gas & power consumption per wafer.

2022年9月15日 · 9月13日，德国设备厂商爱思强（aixtron se）宣布推出下一代8英寸sic外延设备g10-sic，将助力量产新一代基于6/8英寸sic衬底的功率器件。 G10-SiC系统支持两种晶圆尺寸配置