ASM has developed new methods of temperature control in our epitaxy tools that enable improved film performance and repeatability in volume production. Epitaxy processes include silicon-based compounds, such as silicon (Si), silicon-germanium (SiGe) and silicon phosphorus (SiP), used for transistor strain and channel layers.

Our Epsilon 2000 single-wafer epitaxy tool offers a wide variety of epitaxy applications for 150mm and 200mm wafers. They range from high-temperature silicon for wafer preparation to low-temperature selective or non-selective silicon germanium (SiGe) …

2024年11月21日 · EFEM（Equipment Front-End Module，设备前端模块）是半导体制造中用于自动化传输晶圆的关键设备。 本文介绍了 EFEM 的完整开发流程，包括从需求分析到验证部署的步骤，以及在设计中需特别关注的洁净度、精度、错误处理、安全性等注意事项。

2023年3月27日 · 设备前端模块 (Equipment Front End Module)指在高洁净环境下，将单片晶圆通过精密机械手传输至工艺、检测模块的晶圆前端传输系统。 EFEM从属于半导体生产设备，其中 晶圆装载系统 （Loadport）、 晶圆运输机器人 （Robot）、晶圆对准器（Aligner）是最核心的三大部件。 使用EFEM，通过设备内部的微环境可以保证倒片过程的洁净要求，实现Wafer的下线、制程前分批、制程后合并、制程间倒片的卡控和产品出厂校验、排序。 而使用者可以根据自身 …

2024年10月31日 · EFEM（Equipment Front-End Module，设备前端模块）是半导体制造中用于自动化传输晶圆的关键设备。 本文介绍了EFEM的完整开发流程，包括从需求分析到验证部署的步骤，以及在设计中需特别关注的洁净度、精度、错误处理、安全性等注意事项。

EFEM，即半导体设备前端模块，扮演着连接物料搬运系统与硅片处理系统的关键角色。 它确保晶圆在高度洁净的环境下，能够顺畅地传输至工艺和检测模块，因而成为半导体设备不可或缺的组成部分。 EFEM的结构与Sorter相似，但其主要任务是与主设备协同工作，因此主要服务于主设备商，如北方华创、中微半导体以及中电科等。 作为半导体生产设备的一部分，EFEM内部集成了化学蒸汽过滤器、空气过滤器、离子发生器等多重关键组件。 其中，晶圆装载系统、晶圆运输机 …

2024年2月23日 · 设备前端模块(efem)是半导体设备的关键部分，主要应用于晶圆的自动上下料。 它包括晶圆装载系统、晶圆运输机器人和晶圆对准器三大部件。 EFEM通过微环境保证洁净要求，实现晶圆下线、制程前分批等操作。

2022年5月28日 · 东南亚是全球最大的半导体设备前置模块（efem）和晶片分选机生产地，市场份额超过29%，其次是日本、韩国和中国等地区。 日本制造商在进军中国制造方面，比如日本PHT旗下PHOENIX在苏州成立的菲科半导体张家港制造基地，以及RORZE在上海临港区预计2022年10月 …

2023年6月5日 · FOPLP EFEM是指针对方形panel进行搬运和处理、信息识别及存储的设备前端模块。FOPLP(Fan out panel level package) EFEM不同于一般的WLP(Wafter level package） EFEM，硅片的产量更是相当于WLP EFEM的4倍。 从201…

efem（设备前端模块） 模块设备配备有大气晶圆搬运机器人，安装在框架中，框架配备有 FFU（风扇过滤器单元）和安装在前面的装载端口。 EFEM主要安装在工艺设备的前面。