半导体工业软件（五）：APC - 知乎 - 知乎专栏
先进的半导体过程控制技术 (Advanced Process Control，APC)研究的目的就是应用 Run-to-Run控制 方法，利用数据的正向补给和反馈来有效的监控制程过程与设备状态以及调整制程的偏 …
半导体制造中FDC是什么？有什么作用？ - 知乎专栏
FDC（Fault Detection and Classification，故障检测与分类）是半导体制造中的一种关键工艺监控技术，用于实时检测生产过程中的异常并分类故障类型。 FDC系统通过收集和分析设备传感 …
半导体制造领域的先进过程控制技术APC - 知乎 - 知乎专栏
先进过程控制（Advanced Process Control，APC）是对那些不同于常规单回路控制，并具有比常规 PID 控制更好的控制效果的控制策略的统称，而非专指某种计算机控制算法。 先进过程控 …
先進製程控制技術(APC)導論 - 吳俊逸的數位歷程檔
基本上APC算是某類系統的總稱，是由SEMI所定義與推廣的技術，通常包括下列項目：R2R（批次控制；Run-to-run control）、FDC（故障偵測與分類；Fault Detection and Classification） …
低良率問題的解決之道：從SPC到FDC的質量管理演進
本文將從SPC到故障檢測與分類FDC (Fault Detection & Classification)的演進出發，結合實際經驗，探討如何有效解決低良率問題。 一、統計製程管制（SPC）的局限性. SPC是一種通過統計 …
芯片制作工序 & 半导体常见自动化软件模块梳理 - Rongbin's Blog
APC 先进过程控制 （Advanced Process Control） 一般会认定其包含 R2R 批次控制 （Run-to-Run）、FDC、 OEE 整体设备效率 （Overall Equipment Efficiency），但包含关系和范围没 …
Next generation advanced process control: Leveraging big …
Abstract: Advanced process control (APC), which includes run-to-run (R2R) process control and fault detection and classification (FDC) is pervasive in fabs today. While APC provides many …
LayTec - Fault detection
Fault detection and classification (FDC) is a part of advanced process control (APC) and means in compound semiconductor industry detection of abnormal behavior of systems during epitaxial …
智现未来—中国本土唯一上线12吋量产产线的国产工程智能系统供 …
智现未来（前身为韩国bistel中国子公司），是中国本土唯一在12吋量产线上具备工程智能系统实践经验的供应商，国内fdc/r2r（apc）领域领导者，服务超过160个半导体标杆客户，依托于全球 …
先進製程控管 - 臺大工業工程學研究所
面對為生產更高品質產品的激烈競爭，晶片製造商已普遍投資建設先進製程管控 (apc) 的系統架構，以求能提供最佳的生產決策。 APC的施行動機主要是透過收集巨量資料、降低製程變異與 …