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深紫外光（Deep Ultraviolet, DUV）和极紫外光 ... - CSDN博客
2025年1月26日 · 深紫外曝光技术（Deep Ultraviolet Lithography, DUV）是通过使用波长在2000~3000埃的光源来提高光刻图形的分辨率。 相比于传统的 4 000埃左右的 紫外光 ， 深 …
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DUV和EUV光刻机的区别在哪？--科普知识 - CAS
2021年12月21日 · DUV已经能满足绝大多数需求：覆盖7nm及以上制程需求。 DUV和EUV最大的区别在光源方案。 EUV的光源波长为13.5nm，但最先进DUV的光源波只有193nm，较长的波 …
2台国产DUV光刻机的问世意味着什么？ - 知乎
干式DUV采用的是空气作为光线传播的介质，浸润式DUV采用的是水来做光线传播的介质，而光线在水中产生折射，193nm波长的光源，折射后等效成13nm了，波长更短，于是分辨率更高了。
色度空间不均匀性duv解析 - 知乎 - 知乎专栏
色偏差值Δu'v'（也标为Duv），表示在CIE 1960 座标系里色彩偏移普朗克轨迹的距离与方向，随着同时判断CCT 与Duv，可以更直觉的了解完整的白光色度资讯，Duv表示该颜色与黑体轨迹上 …
重大进展！国产浸没式DUV光刻机整机完成，EUV光刻机有多远？
2025年1月3日 · 这款光刻机已经达到了ArF光刻机的顶级水平 ，再进一步就是浸润式DUV光刻机（ArFi）了。 两个消息相互印证说明， 国产浸润式DUV光刻机 （ArFi）确实取得了重大突破 …
EUV和DUV到底有啥区别 - 知乎 - 知乎专栏
euv也就是“极深紫外线”的意思，而duv是“深紫外线”的意思，通过字面就知道euv看上去就比duv高级，实际上也是如此。 一般来讲，DUV基本上只能做到25nm，Intel凭借双工作台的模式做到 …