The TWINSCAN NXE:3600D supports EUV volume production at the 5 and 3 nm Logic nodes and leading-edge DRAM nodes. The TWINSCAN NXE:3600D combines imaging and overlay …

具体来说， 30mJ/cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆，提高了18%的生产率，并改进机器匹配 套准精度 至1.1nm。 3600D定于2021年中旬出货交付，客户还需要一定时间等待，价格应该不会低于现款老型号的1.2亿美元。 目前，ASML已经投产的最先进光刻机是3400C，但 主力出货 型号是3400B。 参数方面，3400B的套刻精度为2nm、曝光速度20mJ/cm2，每小时可曝光125片晶圆。 另外，ASML透露，3400B在三季度也完成了软件升级。 全新的DUV光刻机TWINSCAN …

具體來說， 30mJ/cm2的曝光速度達到每小時曝光160片晶圓，提高了18%的生產率，並改進機器匹配套準精度至1.1nm。 3600D定於2021年中旬出貨交付，客戶還需要一定時間等待，價格應該不會低於現款老型號的1.2億美元。 目前，ASML已經投產的最先進光刻機是3400C，但主力出貨型號是3400B。 參數方面，3400B的套刻精度為2nm、曝光速度20mJ/cm2，每小時可曝光125片晶圓。 另外，ASML透露，3400B在三季度也完成了軟件升級。 全新的DUV光刻機TWINSCAN …

EUV lithography makes scaling more affordable for chipmakers and allows the semiconductor industry to continue its pursuit of Moore’s Law. EUV systems are used to print the most intricate layers on a chip, with the rest of the layers printed using various DUV systems.

Delivery of more than 140 EUV systems with 0.33 NA at high and robust performance. More to come due to strong market pull. We are producing mirrors and frames for High-NA EUV optics at full speed. Build up of system integration tools is progressing.

The TWINSCAN NXE:3600D is ASML’s latest-generation lithography system, supporting EUV volume production at the 5 and 3 nm Logic nodes and leading-edge DRAM nodes. 13.5 nm: EUV light wavelength, 13 nm: Resolution, 0.33 NA: Projection …

2022年4月29日 · 在对第一个High-NA EUV 原型系统的预期中，Imec 正在提高当前 0.33NA EUV 图案化技术的分辨率能力，以预测用于印刷细线/空间和接触孔的更薄抗蚀剂的性能。

2021年7月21日 · 第二代EUV光刻机将会是NXE:5000系列，物镜NA提升到0.55，进一步提高光刻精度，但原计划2023年问世，现在推迟到2025-2026年，而价格预计将突破3亿美元。 第三季度，ASML预计净销售额52-54亿欧元，毛利率51-53%。 EUV光刻机已经成为芯片制造的支柱，台积电和三星等晶圆厂这几年不断追逐5nm和3nm等先进工艺，本身就是EUV光刻机采购大户，再加上现在这几大晶圆厂纷纷扩产建厂，无疑又加大了对EUV光刻机的需求。 而现在除了晶圆厂等 …

2020年10月14日 · 具体来说， 30mJ/cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆，提高了18%的生产率，并改进机器匹配套准精度至1.1nm。 3600D定于2021年中旬出货交付，客户还需要一定时间等待，价格应该不会低于现款老型号的1.2亿美元。 目前，ASML已经投产的最先进光刻机是3400C，但主力出货型号是3400B。 参数方面，3400B的套刻精度为2nm、曝光速度20mJ/cm2，每小时可曝光125片晶圆。 另外，ASML透露，3400B在三季度也完成了软件升级 …

2024年7月25日 · ASML 最畅销的 EUV 产品是 TWINSCAN NXE:3600D，其售价高达 2 亿美元。 这台光刻机约180吨，卡车大小的体积，需要用三架波音 747运输。