FDC（Fault Detection and Classification，故障检测与分类）是半导体制造中的一种关键工艺监控技术，用于实时检测生产过程中的异常并分类故障类型。 FDC系统通过收集和分析设备传感器数据，能够及时发现工艺偏差、…

INFICON’s FabGuard FDC System delivers unmatched connectivity, data collection, and actionable insights to optimize semiconductor manufacturing. Engineers gain deep visibility into tool performance and process efficiency, enabling …

FDC的主要作用在于：一是避免设备故障造成的产品不良，提升产品良率；二是减少设备意外停机时间，提高产品周转率。 三是减少测试晶片运用，达到降低成本的目的. 上扬软件的Terra FDC采用「分层诊断」，透过一层层的故障侦测法则，如同天罗地网般侦测机台设备可能发生的故障诊断与分类。 Terra FDC高频次采集机台生产工艺中的关键数据，利用算法和经验模型，包括统计学算法、工艺模型的算法和人工智能算法，预配置参数的限制值，持续监控设备参数，以对设备健 …

2021年1月10日 · FDC:Fault detect control，故障检测控制. MES生产过程管理. APS:高级计划与排程(Advanced Planning and Scheduling)，是解决生产排程和生产调度问题，常被称为排序问题或资源分配问题。 NPI:New Product Introduction，新产品导入

智现未来作为中国本土唯一上线12”量产产线的工程智能系统供应商，FDC/APC先进技术领域领导者，依托全球先进客户验证和实践的工业软件方案，为泛半导体先进制造产业提供良率、生产效率和产出的全面管理，解决“卡脖子”问题，赋能中国工业生产实现全面智能…… 经头部客户验证的技术解决方案. 将中/美/日/韩客户长期稳定合作积累的经验与知识进行封装与复用，形成了一套经泛半导体行业头部客户高度认可的工程智能技术解决方案. 智现未来半导体行业垂直大模型“灵 …

2024年12月3日 · 近日， 格创东智 自主研发的第三代FDC产品——G-FDC设备故障侦测与分类系统（简称“G-FDC”）重磅发布。基于深厚的半导体行业Know-How和“AI+工业软件”的研发实力，格创东智G-FDC率先引入Logic规则引擎，打破了设备的模块壁垒、规则壁垒、OCAP壁垒，使 …

Definition: 机台事件识别码，在半导体行业通信标准SECS/GEM中定义，机台发报 EAP (机台自动化控制程序)系统时携带的事件编号，具有唯一性,每个S6F11 Event可由 EAP 定义所需的 VID后，在该事件发生时由机台上报资料。 Note: 常用的CEID有Recipe start&end, transfer in&out chamber, sequence start...由于chamber内的各sensor时刻在固定频率收值（比如0.5s），不可能将所有垃圾数据上传至EAP， FDC system 使用CEID去获得有价值的数据区间。 例如TF …

除了与成熟的 FDC 技术一起工作外， SmartFDC® 强大的无监督机器学习功能使 FabGuard 能够在发生变化时自动检测。 FabGuard 是一款智能过程监控系统，工程师可利用该系统从各种传感器、量具、设施和其他设备中收集数据，从而开发出业内最全面的过程工具视图。 在正确的时间收集正确的数据对于建立全面的故障检测和实现过程特征描述至关重要。 FabGuard 的动态数据收集功能还能最大限度地利用工具的带宽，增加收集数据的广度。 数据收集可根据过程、传感器、 …

2023年1月9日 · 格创东智半导体故障侦测及分类FDC系统，对多种数据进行分析和挖掘，建立完善监控模型，实现对设备异常状况的高效监控、提前预警，为异常分析和干预提供强大工具，整体提高设备运行效率和生产力。

IKAS-FDC提供全自动故障检测和分析解决方案，集成 IKAS-PDM 模块 ，对Tool Fault/Alarm、Metrology、PM和Trace等多种数据进行分析和挖掘，建立完善监控模型，实现对设备异常状况的高效监控、提前预警，为异常分析和干预提供强大工具，整体提高设备运行效率和生产力。