
一文读懂天车搬运系统(OHT) - 知乎专栏
天车搬运系统 (OHT)是半导体制造厂中一种重要的自动搬运系统,通过提高物料运输效率,降低人力成本和减少污染风险,从而在很大程度上改善了整体生产流程。 “OHT”是 Overhead Hoist Transfer 的缩写。 在高架轨道上滑行,通过皮带驱动的提升部件“直接”进入加工设备的装载口的自动化运输系统。 这被广泛认为是 300mm FAB 和下一代 FAB 的主要运输系统,天车可以配备前开式统一盒 (FOUP),以实现高效的流程和库存管理。 目前不仅用于 晶圆盒 的工具到工具、工 …
智能仓储:Stocker如何推动半导体晶圆厂智能制造? - 知乎
Stocker (立体仓储库)是半导体工厂的自动存储子系统,具备多层存放空间,专为半导体晶圆厂设计,旨在自动化存储、提取和传送各种规格的晶圆料盒,以实现晶圆在不同工艺之间的流转。 | Stocker 主体框架. Stocker的框架内部设计了多种储位,通常可根据客户的工厂规划进行个性化定制。 Stocker在框架上部配备了 OHT Port,以便与OHT(Overhead Hoist Transport)系统协调操作,在框架的下部设置了Manual Port,以便操作人员手动存取所需物料。 此外,Stocker亦可 …
半导体AMHS解决方案-AMHS是怎么组成的-天车-OHT-stocker-格 …
2024年1月1日 · OHT(Overhead Hoist Transport)能够在空中轨道上行驶,并能够通过皮带传动起重机直接进入保管设备或工艺设备的装卸口取放货,应用于工序区内部,也应用于工序区间或工厂间运输。目前在12英寸晶圆制造厂,OHT系统被广泛认定为FAB工厂的主力搬送系统。 O HT
半导体fab“黑话” - 知乎 - 知乎专栏
linedown ,停线,在半导体fab 而言,停线的意思是停止生产,这是很严重的,需要所有相关人员全力找出原因,快速恢复生产. priority 优先级,一般fab工作,每个人手上都不会仅仅一件事,那优先级的意思就是你需要先做最紧急的事情
AMHS已成为Fab厂提升效率的关键 – 尊芯 ZunXin
2024年8月30日 · 尊芯以技术力和信赖为基础打造最适合国内Fab厂的AMHS系统。其自主研发的天车OHT质量对标国际大厂,同时还自研升降机Lifter、跨楼层循环式搬送设备Loop Carry、晶圆存储Stocker等关键设备,构建了一套围绕FAB厂物料传送的完整业务体系,软硬件与运维一体化。
晶圆搬运系统-OHB结构-MCS全流程物料自动搬送-国产自研晶圆搬 …
2024年6月20日 · 1、为客户提供天花板架设轨道、采用多层设计OHB结构,充分考虑客户工厂不同工序间传送路径间的配合,优化天车传送路径,提高客户整体空间使用率和设备使用效率。 2、极大地降低晶圆搬运过程搬运震动引发晶圆破损风险,搬运精度控制在±1mm以内,搬运过程载具振动值<0.5G,关键取放过程实施多重防护,为生产物料及时稳定安全运输保驾护航。 3、有效整合MES、EAP、OHTC、OHT等软件传输层的数据,充分考虑生产工艺过程物料运输的最优路 …
Over Head Buffer (OHB) – MFSG
The OHB system, in conjunction with the overhead rail system, provides aerial bulk storage (and purification) for wafer boxes, enhancing space utilization in wafer fabs and maximizing the efficiency of wafer carrier transfers between processes.
一文读懂天车搬运系统(OHT)_洁净工程联盟_宋松-商业新知
2023年5月22日 · 天车搬运系统(OHT)是半导体制造厂中一种重要的自动搬运系统,通过提高物料运输效率,降低人力成本和减少污染风险,从而在很大程度上改善了整体生产流程。 “OHT”是 Overhead Hoist Transfer 的缩写。 在高架轨道上滑行,通过皮带驱动的提升部件“直接”进入加工设备的装载口的自动化运输系统。 这被广泛认为是 300mm FAB 和下一代 FAB 的主要运输系统,天车可以配备前开式统一盒 (FOUP),以实现高效的流程和库存管理。 目前不仅用于晶圆盒的工 …
Stocker - 华芯智能-HIMC
同时公司为客户提供ntb(机台缓冲存储设备)、ohb(空中缓存站)等独立或与天车系统进行物理交互的缓存设备,根据客户具体情况提供不同形式、规格的自动存储方案,有效提升fab厂的空间利用率和传送效率。
FAB天车系统OHT 介绍_oht天车前期评估需要注意-CSDN博客
2023年11月13日 · FAB(Fieldbus Access Point)总线系统是一种用于工业自动化控制系统的数字通信总线系统。 它是一种高速、可靠、实时的总线 系统 ,可以同时传输多个信号和数据,实现设备之间的通信和控制。