SiC晶圆缺陷测试-Candela 8520与SiCA 88 - 知乎 - 知乎专栏
2024年7月30日 · Candela 8520 集成了五种互补型检测技术。这些技术组合使用能够精细区分多类型缺陷，同时能抓取影响SiC衬底和SiC外延制程控制的关键表面形貌缺陷。 这些技术组合使 …
Candela 8520 - 光致发光和表面检测系统 - KLA
Candela 8520为氮化镓晶圆提供表面和光致发光的缺陷检测，对氮化镓位错、凹坑和孔洞进行检测和分类，用于氮化镓反应器的缺陷控制。 其功率应用包括基于碳化硅的透明晶圆检查和晶体 …
Defect Inspection System for SiC, GaN Substrates - KLA
2020年8月27日 · Today KLA Instruments announced the Candela ® 8520 defect inspection system for power device applications. It is the successor to the Candela ® CS920 system, the …
Candela 8520 系统的多个检测通道使您能够了解与制程有关的问题 并识别影响良率的缺陷。该检测方法可在几分钟内实现高分辨率成像 ，并提供全晶圆范围的自动缺陷分类信息。 …
Candela® 8520 表面缺陷检测系统-北京中海远创材料科技有限公司
Candela 8520为氮化镓晶圆提供表面和光致发光的缺陷检测，对氮化镓位错、凹坑和孔洞进行检测和分类，用于氮化镓反应器的缺陷控制。 其功率应用包括基于碳化硅的透明晶圆检查和晶体 …
Candela 8520 | Photoluminescence and Surface Inspection System | KLA
The 8520 provides surface and photoluminescence defect inspection for GaN wafers, detecting and classifying GaN dislocations, pits and holes for GaN reactor defect control. Its power …
Candela 8520：高灵敏度高产量晶圆检测工具 | Candela®8520第 …
Candela®8520第二代集成表面和光致发光检测系统专为功率器件市场和相关应用的衬底和外延缺陷的高级表征而设计。用统计过程控制（SPC）方法实现自动晶片检测可以显著减少由于外延 …
Candela8520表面缺陷检测系统_参数_价格-仪器信息网
Candela 8520为氮化镓晶圆提供表面和光致发光的缺陷检测，对氮化镓位错、凹坑和孔洞进行检测和分类，用于氮化镓反应器的缺陷控制。 其功率应用包括基于碳化硅的透明晶圆检查和晶体 …
Candela 8520：高灵敏度高产量晶圆检测工具 | Candela®8520第 …
Candela®8520第二代集成表面和光致发光检测系统专为功率器件市场和相关应用的衬底和外延缺陷的高级表征而设计。 用统计过程控制（SPC）方法实现自动晶片检测可以显著减少由于外 …
Candela 8520 Surface Defect Inspection System - Environmental …
The 8520 provides surface and photoluminescence defect inspection for GaN wafers, detecting and classifying GaN dislocations, pits and holes for GaN reactor defect control.