KLA-Tencor™ Announces eDR™-7000 Electron-Beam Wafer …
2011年8月15日 · Featuring technology breakthroughs that produce industry-leading sensitivity and throughput, the eDR-7000 addresses defect imaging and classification challenges at …
光学检查机 - eDR7xxx™ series - KLA Corporation - 晶圆 / 用于电 …
通过如宽光谱图案晶圆检测仪上的IAS™和裸片晶圆检测仪上的OptiSens™等连通功能，eDR7380为KLA检测设备提供了独特连接，以便在IC和晶圆制造制程中加速良率改进。
eDR-7000 是同类工具中唯一能够可靠地识别小至 20 纳米节点晶圆缺陷检测系统之灵敏度阀值的一款工具。 其中包括上月推出的 Surfscan® SP3 以及 KLA- Tencor 即将推出的图形晶圆检测 …
eDR-5210 电子束缺陷再检测和分类系统以 第二代浸润式电磁场技术为特征，以高生产力组合提供卓越的画质及可操作缺陷分类提供集 卓越缺陷影像质量，可采取措施的缺陷分类以及高效产 …
The eDR7280 is a new generation wafer defect review and classification system from KLA-Tencor that meets high resolution defect review requirements of advanced semiconductor production and
天宣布，推出采用 NanoPointTM 技术的 2910 系列光学晶圆缺陷检测平台和新型 eDRTM-7100 电子束晶圆缺陷检查系统。 为了满足集成电路制造商在先进设备上更快追踪缺陷的需要，这
Optical inspection machine - eDR7xxx™ series - KLA Corporation
With connectivity features, such as IAS™ for broadband optical patterned wafer inspectors and OptiSens™ for bare wafer inspectors, the eDR7380 provides unique linkage to KLA inspectors …
KLA-Tencor四款新系统提供先进的缺陷检测与检查能力
2014年7月9日 · KLA-Tencor推出四款新的系统——2920系列、Puma 9850、Surfscan SP5和eDR-7110——为16nm及以下的集成电路研发与生产提供更先进的缺陷检测与检查能力。
KLA-Tencor Completes Its 45nm Defect Portfolio With ... - KLA …
2007年7月3日 · KLA-Tencor (NASDAQ:KLAC) today introduced the eDR-5200, a new generation wafer defect review and classification system that leverages advances in resolution and defect …
KLA-Tencor 推出 2830、Puma 9500 系列和 eDR-5210
2009年7月14日 · eDR-5210 电子束缺陷再检测和分类系统以第二代浸润式电磁场技术为特征，以高生产力组合提供卓越的画质及可操作缺陷分类提供集卓越缺陷影像质量，可采取措施的缺陷 …
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