Surfscan® SP7XP: Detecting Defects Drives Pristine Processes ... - KLA
2020年12月7日 · Today, KLA Corporation announced our new Surfscan ® SP7 XP wafer defect inspection system. This new member of our Surfscan family of inspectors discovers the …
Surfscan SP7XP 凭借基于图像的缺陷分类和与 KLA eDR7xxx™ 电子束检查系统的无缝连接，为工程师提供了强大的解决 方案，以便快速查找、识别先进工艺和新材料的关键缺陷并查明根源。
KLA 推出两种全新的系统来解决半导体制造业中最棘手的问题 PWG5™ 专门针对 3D NAND 的制程问题，Surfscan® SP7 XP 则专注解决3nm 逻辑产品的缺 陷。 美国加州，米尔皮塔斯市， …
Surfscan® SP7XP - KLA Corporation - PDF Catalogs | Technical ...
Built on the industry-standard Surfscan® platform, the Surfscan SP7 XP delivers ultimate sensitivity to critical defects and enhanced defect classification for bare wafers, smooth and …
KLA-Tencor Announces Voyager™ 1015 and Surfscan® SP7 …
2018年7月10日 · The Surfscan ® SP7 system delivers unprecedented defect detection sensitivity on bare wafers, smooth and rough films—essential for manufacturing silicon substrates …
[半导体检测-4]：半导体检测领域的领头羊KLA科磊的Surfscan产品系列介绍_kla …
2024年9月25日 · Surfscan SP7是KLA为满足 更高级别检测需求而推出的先进晶圆缺陷检测系统 。 该系统结合了高精度、高灵敏度和高效率的特点，为半导体制造商提供了强大的工艺控制和良 …
光学检查机 - Surfscan® series - KLA Corporation - 表面 / 无图案 …
使用DUV激光器和优化的检查模式，Surfscan SP7XP为先进技术节点研发和生产能力提供了最高的灵敏度，并支持大批量生产。 包括相位对比通道（PCC）和垂直照射（NI）在内的互补检 …
[半导体检测-9]：KLA Surfscan SP1 SP3 SP5 SP7各自使用的激光器 …
KLA Surfscan系列设备激光器波长推测. 对于KLA Surfscan SP1、SP3、SP5、SP7等具体型号所使用的激光器波长，虽然无法直接给出确切信息，但可以根据产品升级和技术迭代的一般趋势 …
盛美临港研发与制造中心首台量测设备KLA-Tencor Surfscan SP7入驻
2024年10月30日 · KLA-Tencor Surfscan SP7，作为业界领先的精密量测设备，将为我们的研发团队提供无与伦比的精度和效率，为产品迭代新技术突破提供了有力保障。 我们致力于通过尖 …
Defect Inspection & Review | Chip Manufacturing - KLA
The Surfscan ® SP7 XP unpatterned wafer inspection system identifies defects and surface quality issues that affect the performance and reliability of leading-edge logic and memory …
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