为了精确制造出这些极具挑战性的结构，泛林集团Flex ® 产品系列提供多种差异化技术和以应用为核心的功能，适用于关键介电质刻蚀应用。 针对某些应用，我们的Reliant ® 翻新产品系列已经推出一些特定型号，以更低的持有成本提供与新系统相同的质量保证和性能。 鉴于新材料的引入、复杂的新集成方案和先进技术节点的微缩，介电质刻蚀面临众多挑战。 这些新材料和集成方案需要刻蚀多层薄膜叠层的能力，并且通常必须在不同薄膜之间进行选择性刻蚀。 芯片制造商希望降 …

To precisely create these challenging structures, Lam’s Flex ® product family offers differentiated technologies and application-focused capabilities for critical dielectric etch applications. For some applications, select models are also available through our Reliant ® Systems as refurbished products, providing lower cost of ownership with ...

Lam’s Kiyo ® product family delivers the high-performance capabilities needed to precisely and consistently form these features precisely and with high productivity. For some applications, select models are also available through our Reliant® Systems as refurbished products, providing lower cost of ownership with the same quality assurance ...

2300 kiyo 系列是Lam 12英寸多晶硅和导体膜膜蚀刻设备，一般根据平台可配置1~6腔体。 设备采用ICP蚀刻原理，独立控制离子浓度和轰击力量，方便调节工艺性能，以及生产稳定。

lam research kiyo fxe凭借其先进的功能提供强大的性能和快速的吞吐量。 低功耗等离子体源、快速基板交换时间、超低配置夹具设计和高级I/O接口等功能使客户能够在提高吞吐量的同时降低过程的不稳定性和复杂性。

LAM RESEARCH KIYO FXE是為集成電路生產而設計的高精度、可靠的蝕刻器/asher,提供高生產率和低功耗,以及安全操作的高級安全措施。 LAM RESEARCH KIYO FXE 蝕刻機/ 光阻清洗機 用於銷售價格 #293589662, 2016 > 從 CAE 購買

lam research 2300 kiyo fxe是一款專為小型和大型生產而設計的蝕刻器/灰化器，提供具有廣泛工藝能力的高精度灰化和蝕刻工藝以及各種基材的等離子體來源。

2015年5月22日 · 面 向半导体行业提供创新晶圆制造设备和服务的全球主要供应商科林研发（Lam Research Corp.）（纳斯达克股票代码：LRCX）今天宣布，其Kiyo(R) F系列导体刻蚀系统将有助于3D NAND和高级DRAM进入量产。

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為了精確形成高難度的特徵結構，Lam Research的Flex ® 系列產品可為關鍵的蝕刻製程應用提供具差異化的技術以及應用導向的功能。 針對某些應用，透過我們的Reliant ® 系統還可選擇一些機型作為整修產品，能以較低的擁有成本提供與新系統相同的品質保證與效能。