近年来，结合微纳刻蚀工艺和lnoi平台的成熟，lnoi片上的电光调制器、高效非线性光学器件、 光学频率梳 、声光调制器等片上微纳光子学结构被大量验证。

文简要介绍了lnoi的制作工艺并梳理了lnoi光波 导、光栅耦合器、边缘耦合器、电光调制器及可调谐滤波 器等几种重要的光波导器件的研究进展，简要讨论了

薄膜铌酸锂晶圆（LNOI）的生产制造技术与传统SOI晶圆制造方法相同，大多基于"Smart-cut"技术实现，该项技术专利于1998年申请【1】，到2018年截止，目前该项专利技术已经不受专利保护，可无偿使用。

2021年9月12日 · This perspective article examines and consequently promotes the utility of the lithium niobate on insulator (LNOI) platform for integrated quantum photonics, by investigating the availability of the ...

2024年10月3日 · Lithium niobate on insulator (LNOI) has emerged as a promising candidate for next-generation integrated photonics and is moving toward the integration of multifunctional components on a single chip. In this letter, we demonstrate a multifunction LNOI photonic chip, which contains frequency up-conversion and photodetection.

2023年6月13日 · The availability of thin-film lithium niobate on insulator (LNOI) and advances in processing have led to the emergence of fully integrated LiNbO3 electro-optic devices.

2025年1月29日 · lnoi技術為矽光子積體電路帶來革命性突破。 透過超低光學損耗、高效非線性光學處理，該技術在通訊、量子資訊與感測領域展現巨大潛力。 研究者已成功開發低損耗波導與高品質微共振器，為光子技術的未來指引新方向。

2023年4月6日 · Lithium niobate-on-insulator (LNOI) is an emerging photonic platform that exhibits favorable material properties (such as low optical loss, strong nonlinearities, and stability) and enables large-scale integration with stronger optical confinement, showing promise for future optical networks, quantum processors, and nonlinear optical systems.

2020年8月6日 · LN-on-insulator (LNOI) has recently emerged as an appealing material platform for compact and high-performance modulators, on which high-contrast waveguides with strong...

铌酸锂单晶薄膜(lnoi)具有透光光谱宽, 折射率高, 二阶非线性高及压电响应大等优点, 是一种重要的集成光子学基础材料。lnoi材料具有亚波长尺度的光约束和光电器件的高密度集成能力, 能够实现具有更高性能、更低成本的全新器件及应用, 给光通信和微波光子学 ...