
smic流片layer mask求助 - Layout讨论区 - EETOP 创芯网论坛 (原 …
2017年5月3日 · 这些mask的用途就是上面你写的,这些mask你没有画layer,是因为他是用你画的其他layer做逻辑运算得到的。 一般来讲,layer,mask,photo三者有很强的关联但是不一定相同。 那full mask流片的时候是否需要制作这6层mask layer? smic是按mask layer 层来收钱的。 我们公司到smic流片工艺是smic0.18um 1p6m 1.8v/3.3v我们画layout的时候用了23层layer mask。 但是smic说用了29层。 多出来的6层是 AR PW PLL NLL PLH NLH谁能解释一下 ... smic流 …
smic018工艺中NLL、PLL、NLH、PLH这几层求解释 - 后端讨论区
2013年8月23日 · 最近在看smic180nm的工艺,看到有这么几层不知道是干什么的,NLL(1.8v NLDD Implantation)、PLL(1.8v PLDD Implantation)、NLH(5v NLDD Implantation)、PLH(5v PLDD Implantation).从网上查到了一些内容,说LDD是浅掺杂源漏的意思,在短沟道器件下减小源漏的电场强度用的。
显示杂谈(21)-蒸镀工艺中的MASK到底是个什么玩意 - 知乎
半导体工艺中的玻璃基mask,是半导体工艺中最常见的东西,起到转印的作用,而转印的步骤就是曝光显影等! 它又可以称,光罩! 这些东西也是显示屏中常用的工艺。
smic流片layer mask求助 - 微波EDA网
在mask中一般都有option选项,就是mask可做可不做,这取决于你是否用到特定的器件或者层次,比如DNW。 与之对应的就是必须要做的mask,PW基本所有工艺都会有这层mask,而一般情况下除了高压工艺,PW一般都是用NW的取反实现,也就是说没有对应drawing层。
版图设计中的几个疑问。 - Layout讨论区 - EETOP 创芯网论坛 (原 …
2013年6月22日 · 本人在学习SMIC 180nm的规则的时候,遇到了一些不明之处。 还望各位指点一二。 1.N阱、P阱、AA划分? 根据相关的工艺介绍,此工艺是双阱工艺,先制作AA区窗口,然后分别注入相应的离子形成N阱和P阱。 但是版图介绍中没有介绍P阱规则,只有N阱规则。 问:是否N阱外的地方都需要注入相应的粒子形成P阱? 或者直接用P衬底做P阱? 2.GT规则? 所有的带有ct的GT必须是salicide poly吗? 例如下面的描述中所说的GT. 3.关于NLL(或NLH),PLL( …
版图培训第二讲_design rule - 百度文库
这句话,是说mvn, mvp, pw, nll, pll, plh, nlh这几个mask,是通过我们画的版图的有的层逻辑运算(比如哪几层相与,再与哪层相减啥的)得到的,不用我们画的
芯片制造·从Mask开始说起 - 知乎 - 知乎专栏
石英作为一种高透明度、低热膨胀系数的材料,适合作为光罩的基底;铬作为暗部材料,系其稳定性高,耐腐蚀。 简单来说,我们把铬镀到石英上,再对铬图形化,使其成为设计的集成电路图形,即可以成为光罩,为我们源源不断的印刷芯片了。 那么光罩上的铬的图形又是怎么弄上去的呢? 答案是 电子束曝光。 我们知道,光刻机的光源是激光,波长越短分辨率越高,主流的有248nm (KrF),193nm (ArF),最短的 EUV 可达13.5nm。 在显微镜领域为了突破光学显微镜的极限分 …
smic018工艺中NLL、PLL、NLH、PLH这几层求解释
最近在看smic180nm的工艺,看到有这么几层不知道是干什么的,NLL(1.8v NLDD Implantation)、PLL(1.8v PLDD Implantation)、NLH(5v NLDD Implantation)、PLH(5v PLDD Implantation).从网上查到了一些内容,说LDD是浅掺杂源漏的意思,在短沟道器件下减小源漏的电场强度用的。
做MASK的时候PLDD与NLDD层的算法大概是什么样的? - mweda
PLDD, NLDD 是降hot carrier用的,有些工藝有,有些沒有,視狀況而定. NLDD &PLDD 不光光是PPLUS NPLUS 做出来的用来降低hot carrier 用的。 在有的高压工艺上有单独的这两层,用来降低漏断的漂移区. 我现在用的是40VBCD工艺,看JDV上的信息NLDD层是在高压NMOS管上面有,而PLDD层是在低压的有pickup的地方有,很奇怪,无法理解. 参考高压LDMOS的设计方法. thanks.
MASK工艺介绍.pdf 11页 - 原创力文档
2017年4月27日 · 3、 干版(Emulsion Mask) 1)结构 乳胶 玻璃 防光晕层 玻璃干版是由受温、湿度影响较小的钠钙玻璃作基材,上 涂 感 光 乳胶层,其 反 应原理同 铬版类似,主要用于 HDI、BGA 等。
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