
104|CVD中的PSG,BPSG,FSG分别是什么? - 知乎专栏
BPSG:BoroPhosphoSilicate Glass,硼磷硅酸盐玻璃,是由硅、硼、磷组成的三元玻璃。 BPSG相比PSG具有更好的流动性和更低的流动温度,因此在需要更大面积覆盖和填充效果的场合,如隔离的制作中,通常优选BPSG。 FSG:Fluorosilicate Glass,氟硅酸盐玻璃,是一种掺氟的硅酸盐玻璃。 FSG的主要优点是它的 介电常数 较低(约3.6),比未掺杂氟的硅酸盐玻璃的介电常数(约4.0)低,因此FSG常常用作互连层的介电材料,用来降低互连电容,从而降低 RC延 …
硼磷硅玻璃 - 百度百科
硼磷硅玻璃 (Boro-phospho-silicate Glass,BPSG),即掺杂了 硼 和 磷 的 二氧化硅 作为第一层金属前介电质 (PMD)以及金属层间介电质 (AVID)在IC制造中有着广泛的应用。 二氧化硅原有的有序网络结构由于硼磷杂质 (B2O3、P2O5 )的加入而变得疏松,在高温条件下某种程度上具有像液体一样的流动能力 ( Reflow )。 因此BPSG薄膜具有卓越的填孔能力,并且能够提高整个 硅片 表面的平坦化,从而为光刻及后道工艺提供更大的工艺范围。 在0.18微米及更低节点技术中,随着半 …
射频溅射沉积掺硼二氧化硅薄膜的制备、表征及应用,Materials …
2013年12月1日 · 摘要 我们报告了通过射频磁控管制备掺硼二氧化硅薄膜(也称为硼硅玻璃或 bsg)及其作为硼扩散源的用途,特别是用于浅结。 为此,通过常规的固态反应途径制备了 BSG 溅射靶。
104|CVD中的PSG,BPSG,FSG分别是什么? - CSDN博客
2023年12月4日 · BPSG:BoroPhosphoSilicate Glass,硼磷硅酸盐玻璃,是由硅、硼、磷组成的三元玻璃。 BPSG相比PSG具有更好的流动性和更低的流动温度,因此在需要更大面积覆盖和填充效果的场合,如隔离的制作中,通常优选BPSG。 FSG:Fluorosilicate Glass,氟硅酸盐玻璃,是一种掺氟的硅酸盐玻璃。 FSG的主要优点是它的介电常数较低(约3.6),比未掺杂氟的硅酸盐玻璃的介电常数(约4.0)低,因此FSG常常用作互连层的介电材料,用来降低互连电容,从而 …
BSG New Energy Technology (Shanghai) Co., Ltd.
上海博士高环保集团(BSG-Environ Group)始于1998年,由土木工程、环境工程等学科享誉全球的同济大学发起成立。 公司第一任董事长是中国著名环境工程专家、同济大学前校长高廷耀教授。
太阳能电池扩散制结后的边缘刻蚀工艺 - millennialsolar.com
在N型硅片上制PN结,扩散过程中形成的为硼硅玻璃(BSG)。 两种杂质层的去除工序相仿。 当太阳能电池实际应用时,光照在电池正面产生的光生载流子会沿着四周边缘的扩散层和杂质磷硅玻璃层流到电池的背面,从而降低太阳能电池的并联电阻,还会造成电极短路。 因此,太阳能电池背面和边缘的扩散层以及磷硅玻璃层PSG必须去除。 边缘刻蚀的三种工艺方式. 1.等离子体刻蚀. 目前等离子体刻蚀方法基本只在实验室中使用,在实际生产过程中已经不再使用。 这种方法通常 …
【图】关于宝马X5的48VBSG与ISG的知识普及(一)持续更新中_ …
2023年6月25日 · bsg和isg其实就是不同技术阶段的产品,两个系统的稳定性都很高,设计之初主要是为了节能减排、改善发动机启停过程中的体验感、增加额外且短暂的动力输出、能量回收、滑行的时候减少减速水平,但是isg相较bsg舒适性及功能性更好,也可以额外提供更高的 ...
请问BSG各个版本到底有什么区别?【谷歌相机吧】_百度贴吧
ruler和scan3d是三星专用,不然无法开副摄。 qcamera3是小米的。 其他随意。
一种BSG去除方法与流程 - X技术网
2022年6月5日 · 1.本发明涉及光伏领域,具体涉及一种bsg去除方法。 2.为提高光伏发电的比例,降本和提效是光伏制造的两大主线,目前主流的光伏电池为晶体硅太阳能电池,topcon技术由于其工艺路线与传统perc电池产线极高的兼容性,以及其明显的效率增益,成为目前最有潜力的新型高效电池技术之一,其相关研究逐日增加。 目前主流的n型topcon电池为正结电池,正面需采用硼扩进行发射极制备,与传统perc电池采用的磷扩工艺相比,硼扩工艺需要更高的温度来进行扩 …
插混里程碑,详解DM-p黑科技——全新BSG电机 - 知乎专栏
BSG电机(“皮带传动起动、发电一体化电机”)的前身是传统发动机中的起动机,它扮演着带动发动机起动的角色。 但又不同于起动电机,在混动技术中,BSG电机的电压与功率加大,从而兼具了发电及主动调节发动机转速的作用。 发电时是发动机带动皮从而带动电机发电,把机械能转化为电能,BSG电机发出来的电能通过电机控制器,把电能分配给动力电机及高压用电器件。 反过来,驱动时电机通过皮带把电机的电能转化为发动机的机械能,调节发动机转速。 在这些过程 …
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