2024年7月10日 · 据麦姆斯咨询报道，近期，由意大利帕维亚大学（University of Pavia）和荷兰代尔夫特理工大学（TU Delft）的研究人员组成的团队在IEEE Access期刊上发表了以“PMUT and CMUT Devices for Biomedical Applications: A Review”为题的综述论文：综述了PMUT和CMUT技术的最新进展，重点介绍 ...

Both CMUT and PMUT are promising new technologies for US medical imaging (1MHz-40MHz) –PMUT better in lower frequency range • Products in < 1MHz range (gesture detection, fingerprint sensor,..)

2023年7月7日 · MEMS 压 电式超声换能器（Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer，PMUT）基于压电材料的压电效应和逆压电效应 是可以由单个器件完成声压的测量以及声压信号或声能量输出的超声换能器。

2024年1月30日 · This paper presents a review of the state-of-the-art of PMUT and CMUT technologies, focusing on their principle of operation, microfabrication techniques and use in different biomedical imaging and therapeutic applications.

压电微机械超声换能器（Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer，PMUT）在各领域展现出多方面优势，尤其是以小尺寸、高性能、低功耗为代表，PMUT对目前主流的音频器件和超声器件来说，是替代性的下一代技术。 前文“压电微机械超声换能器（上）原理与应用”将PMUT进行了一个拉通式的简介，主要偏应用，大约比科普深一点，比专业浅一点的样子。 本文将进一步解析PMUT的器件结构和系统级设计方法，首先是针对PMUT的单管结构分析，随后重点 …

压电微机械超声换能器，（Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer，PMUT）是一类通过压电材料的正逆压电效应使压电薄膜振动，从而发射或者接收超声波信号的MEMS器件。 当PMUT用于发射超声波时，它是一个执行器；当PMUT用于接收超声波时，它是一个传感器。 PMUT的一个特别之处就在于它既可以做执行器（发射声波），又可以做传感器（接收声波）。 这意味着在商业化产品中，完全相同的PMUT器件可以承担两个相对立的功能，例如汽车的超声 …

CMUT technologies are more mature at this moment. The most mature conventional and collapse-mode CMUTs showed the best overall acoustical performance and demonstrated comparable round-trip sensitivity. Collapse-mode CMUTs achieve higher transmit pressure, while the best conventional CMUTs have a higher receive sensitivity.

CMUT属于静电转换型超声传感器，是由一个振动薄膜和一个固定电极组成的 平行板电容器。 其中一块板——振膜（前面提到的微机械薄膜）由硅或氮化硅制成，带有金属电极。 另一块板——通常是微机械加工硅晶片基底，更厚、更坚硬。 在发射模式下，振膜和基底背板之间会产生交变电压。 由此产生的静电力导致薄膜振动，发出超声波。 在接收模式下，超声波会引起膜振动，从而可以检测到电容变化。 当振膜与人体接触时，振动会将超声波送入组织。 产生或检测到多少超声波 …

2025年1月16日 · 微机械超声换能器（MUT）是运用MEMS技术精心打造的设备，它主要包括电容式（CMUT）和压电式（PMUT）两大类，这两类换能器各有千秋。 相较于传统的换能器，MUT不仅体积更为紧凑、成本更低廉，同时功耗也更为节省，频率控制更为灵活，更便于与电路进行集成。 随着科技的不断发展以及产业链的逐步完善，MUT有望逐渐成为传统换能器的替代之选。 与传统换能器相比，MUT不仅体积小巧、成本低廉、功耗节省，更拥有灵活的频率控制能力，与电 …

2024年7月19日 · 微机械超声换能器（MUT）是指采用MEMS技术制作的超声换能器，根据工作原理主要分为两大类：电容式微机械超声换能器（CMUT）和压电式微机械超声换能器（PMUT），PMUT和CMUT在性能和应用方面各有所长、并行发展。 与传统的块体型超声换能器相比，微机械超声换能器具有体积小、成本低、功耗低、频率控制灵活、易于与电路集成和实现智能化等特点。 随着MEMS设计和微加工技术的提升以及产业链的完善，微机械超声换能器成 …