2025年2月27日 · The Shared Materials Instrumentation Facility (SMIF) at Duke University is an interdisciplinary, shared resource open to Duke University researchers from all schools and departments—as well as to users from other universities, government laboratories and industry.

SMIF(Standard Mechanical Interface)是一种标准机械接口、一种模块化设计、由一系列标准化的模块组成，使用SMIF可以大大减少工艺设备的边角、从而提高生产效率。 而可支持12寸的具有同样功能的设备叫LPM（Load Po…

SMIF (Standard Mechanical Interface) is a wafer carrier used in semiconductor wafer fabrication and cleanroom environments. The isolation technology was developed in the 1980s by a group known as the "micronauts" at Hewlett-Packard in Palo Alto .

SMIF由三部分组成：用来封闭在制造过程中存储和运输盒装半导体晶片的集装箱，即 SMIF晶片盒 (pod)；用来打开SMIF晶片盒 (pod)的输入输出装置，即smif装载端口 (SMIF i/o，SMIF input/output)；以及通过工艺系统实现装载端口整合的洁净室。

2024年12月11日 · 晶圆隔离技术又称标准机械（界面）接口（Standard Mechanical Interface简称SMIF），技术概念等同于将洁净室直接设置于设备中，可在次等级（ISO等级6或更高级）集成电路制造FAB中提供ISO2级晶圆盒传输环境。 SEMI的研究数据证明，ISO-5级、ISO-4级和ISO-3级设备中的开放式晶圆盒传送相比，SMIF技术提供的晶圆清洁度保护分别提高了100倍、30倍和10倍。 主要技术包括晶圆盒（POD）、SMIF I/O（input&Output）及迷你洁净环境（Mini …

2024年12月31日 · 晶圆隔离技术又称标准机械（界面）接口（Standard Mechanical Interface简称SMIF），技术概念等同于将洁净室直接设置于设备中，可在次等级（ISO等级 6或更高级） 集成电路制造FAB 中提供ISO2级晶圆盒传输环境。 SEMI的研究数据证明，ISO-5级、ISO-4级和ISO-3级设备中的开放式晶圆盒传送相比，SMIF技术提供的晶圆清洁度保护分别提高了100倍、30倍和10倍。 主要技术包括晶圆盒（POD）、SMIF I/O（input&Output）及迷你洁净环境（Mini …

The SMIF-LPT (Load Port Transfer) is an ergonomically designed SMIF-I/O that easily integrates SMIF-Pod cassette loading and unloading into a wide variety of 200mm and 150mm wafer processing and metrology tools.

SMIF（标准机械接口）技术在 IC制造 过程中得到了广泛应用，如 光刻制造 、 干法蚀刻制造 、 真空制造 等配套传输设备。 据市场研究机构预测，到2030年底，SMIF市场规模将达到76亿美元，复合年增长率为17.5%。 其中，对半导体制造效率的需求不断增加、晶圆处理系统的技术进步、行业向更小、更复杂的设备转变等因素都将推动SMIF技术的市场增长。 在半导体行业，自动化和智能制造的趋势正在蓬勃发展。 SMIF系统越来越多地与支持 物联网 的设备集成，从而实现实时 …

2024年7月31日 · 揭开SMIF与LPM的神秘面纱：模块化效率提升的秘密武器. 在精密的半导体制造领域，SMIF（Standard Mechanical Interface，标准机械接口）如同一颗璀璨的明珠，它的出现标志着模块化设计的革新。

2024年11月16日 · SMIF，即标准机械接口，是一种模块化设计，包含一系列标准化模块，旨在大幅减少工艺设备边缘，提升生产效率。 与此类似的设备，支持12寸设备，被称为LPM（Load Port Module），具备SMIF的同样功能。