在当时同步辐射装置大体分为三类，一是储存环光源，二是直线型自由电子激光（FEL），三是能量回收型（ERL）自由电子激光。 首先pass掉的是储存环光源，因为这种光源从原理上就无法用于光刻，由于储存环产生的同步辐射都是连续谱辐射，无论是二级铁还是各种类型的插入磁铁元件，它们在全空间范围内都会产生巨量的类似白光的连续谱辐射，其中有效波段的能量微乎其微，因此根本无法用于光刻。 而自由电子激光通过对电子束团在运动方向上进行密度分布的调制， …

2023年10月4日 · ssmb光源把sr和fel结合起来了，可以得到高功率、高亮度、高重频、窄带宽的光源，而且波长可调，别说euv，就是下一代波长约6 nm的blue-x光源都能达到，而且不需要sr的滤光器或lpp/dpp的多反射光谱纯化装置。

2022年2月28日 · For storage rings, the leading concept for realizing this kind of light source is the steady-state micro-bunching (SSMB) 5, 6, 7 scheme. One of the critical issues of SSMB is how to further...

2025年1月16日 · 除了国外的 dpp 和 ldd 的光刻机光源方案以外，中国开发了一个最为创新、最为颠覆性的加速器光源 ssmb-euv ，即稳态微聚束极紫外光源路线，由清华大学主导。

2023年9月20日 · 根据这三个原理，目前EUV光源有四种可能的实现模式—— LPP（激光等离子体）、SR（同步辐射）、SRF-FEL（超导加速-高功率自由电子激光器）以及SSMB（稳态微聚束）。 其中SSMB路线属于最新的技术路线，最近在网络上被广大网友热议。 从公开资料来看，这几种技术路线的EUV除了同步辐射路线之外，我国均有团队在快速推进。 一、初代国产EUV效仿ASML采用LPP-EUV技术路线，根据公开资料来看，很可能已经处于调试阶段。 与ASML一 …

2023年9月21日 · 并且与lpp、sr（同步辐射光源）、srf-fel（基于射频超导直线加速器的自由电子激光器）等光源做完对比之后发现，ssmb作为euv光刻机的光源发生器是有 ...

2021年2月26日 · “大连相干光源”（fel）于2012年初正式启动，2014年10月22日正式开工建设，2016年9月24日首次出光。所以，ssmb技术大概率不能赶上首台国产euv光刻机，想尽快出来国产euv光刻机，还得指望上海光机所的lpp-euv和哈工大的dpp-euv。

2021年3月8日 · ssmb采用激光来对电子进行聚束，相比同步辐射光源常用的微波，聚束系统的波长缩短了5到6个数量级。因此，要验证ssmb的原理，需要加速器对电子纵向位置（相位）逐圈变化有非常高的控制精度，而德国ptb的mls储存环在这一方面最接近ssmb的实验需求。

Steady-state Microbunching (SSMB)[1]: electron storage ring from radiofrequency-focusing to laser-focusing •Replace the conventional RF cavity in an electron storage ring by laser modulator. •Two key ingredients: •microbunching for high peak power temporally coherent radiation •steady state for high repetition rate.

•SSMB is a promising high-power EUV radiation scheme and has potential advantages for applications in EUVL. •The mechanism of SSMB has been demonstrated the first time worldwide in an electron storage ring. It is the first key advance of developing an SSMB high-power EUV source. •SSMB PoP Experiment Phase II is under preparation and