借助FIB、TEM、SEM等显微分析技术的4nm先进制程芯片解剖 - 知乎
为了一探先进制程芯片内部的奥秘，本文选择了一颗今年最新上市的制程为4nm的芯片，借助 透射电子显微镜 （TEM）、 双束聚焦离子束 （DB FIB）、 扫描电子显微镜 （SEM）等先进的显 …
Gtem Cells » TEM Cells
Transverse Electro-Magnetic (TEM) cell or Crawford cell (named after its inventor) is used to generate accurate electromagnetic waves over a wide frequency range: DC (0 Hz) to GHz. EM …
透射电镜（TEM） - 芯片测试与失效分析 - 电子技术论坛 - 广受欢 …
2020年1月15日 · 透射电子显微镜（Transmission electron microscope，缩写TEM），简称透射电镜，是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方 …
IC Stripline TEM Cell | EMC & RF Solutions - ESDEMC Technology
ESDEMC’s EM601-6 is a DC-6 GHz IC Stripline TEM Cell which generates the electromagnetic field for testing small devices such as IC’s, wireless communication modules, etc. An external …
DB-FIB和TEM在芯片失效分析中的应用 - 知乎 - 知乎专栏
图5 是裂纹处的TEM/EDX元素分析结果，图5 c) 和e）中红色箭头所指的位置，可观察到有SiO2沿着裂纹进入Poly层，与poly发生熔融。 由此可以推测，很可能是在Poly的生长工艺阶段产生了 …
详解半导体行业的TEM技术 - 电子发烧友网
透射电子显微镜（tem）具有卓越的空间分辨率和高灵敏度的元素分析能力，可用于先进半导体技术中亚纳米尺寸器件特征的计量和材料表征，比如评估界面细节、器件结构尺寸以及制造过程 …
EM603-10 IC带状线TEM小室 | ESDEMC Technology
ESDEMC 的 EM603-10 是直流至 10 GHz 的 IC-Stripline TEM 单元，可产生电磁场，用于测试 IC、无线通信模块等小型设备。 通过 EM603-10 的输入端口施加外部测试信号，可在电场内 …
半导体透射电子显微镜 | 半导体TEM成像 | 赛默飞 | Thermo Fisher …
半导体和微电子装置的高质量 (s)tem 成像; 使用 eds 进行精确、高速的化学表征; 专用半导体相关应用
EM601-10 IC Stripline TEM Cell (DC-10 GHz, 1kV Pulse)
ESDEMC’s EM601-10 is a DC to 10 GHz IC-Stripline TEM Cell that generates an electromagnetic field for testing small devices such as IC’s, wireless communication modules, etc. An external …
对TEM原理及应用的研究 - 百度学术
IC产业发展到今天的阶段,TEM已成为任何一个先进的IC代工厂中不可或缺的研究,分析工具.尤其是当制程逐步向深亚微米发展,沉积的薄膜越来越薄,影响器件性能的Defect越来越小时,对于分析 …
- 某些结果已被删除