Stocker在框架上部配备了 OHT Port，以便与OHT（Overhead Hoist Transport）系统协调操作，在框架的下部设置了Manual Port，以便操作人员手动存取所需物料。 此外，Stocker亦可定制AGV接口，满足不同自动化需求。 | 堆垛机 Crane

川崎的晶圆搬运机器人可以提供高品质、高性能的洁净机器人，市场占有率在全球名列前茅。 在半导体制造装置的重要工序中负责搬运晶圆的机器人。 您不想尝试导入机器人吗？ ©Kawasaki Heavy Industries, Ltd. All rights reserved.

国自机器人半导体行业整体解决方案系统,以智能化和信息化作为基本架构,通过对半导体全产业链应用场景的深入调研和实践,针对离散型作业方式、产能稳定可靠、产线不停机生产等特点，构建出线上无人化管理模式、数字化监管平台、网格化协同、智能化生产等未来工厂模型，有效解决人力成本逐年上升、专业人才流失、人员进出无尘车间更换防静电服繁琐等行业痛点，满足产业链各环节普适性化和柔性化整体解决方案。 某新能源集团电池片生产工厂以“中国制造2025”为指引， …

2020年6月8日 · TSMC firstly implemented Automated Handling System for Wafer Warehouses at its newly-launched Fab 18A. Adopting conveyor belts, automated guided vehicle (AGV) and robots, the system helped to reduce 95% of manual handling weight for wafer transportation at Fab 18A warehouse when it’s used for the first time in 2020.

2023年11月24日 · 首先，AGV会和操作员共同占用有限的地面空间，本就有限的通道空间被大量占用；其次，出于物料安全考虑，用于搬运晶圆的AGV通常限速在0.3-1米每秒的速度，并设多重避障设置，这就意味着搬送效率非常有限。

An automated transport system equipped with SCARA robot arm, that travels on the floor to "directly" access stocker and process equipment. "AGV" is the abbreviation for Automated Guided Vehicle. The vehicles travel flexibly on complex routes through a high-accuracy navigation system to transport carriers to the process equipment.

随着工业自动化的发展，要求AGV能够进行更精确的距离测量和空间识别，因此，LiDAR (Light Detection and Ranging)在其中的应用也日益广泛。 罗姆通过提供由高输出功率激光二极管和GaN HEMT构建的、支持远距离检测的高精度LiDAR解决方案，以及与无线通信和传感器相结合的解决方案，助力AGV领域中的物联网技术发展。 ※Click to enlarge image. 在设计电源电路时，输入电压、输出电压、功率、有无绝缘等因用途而异，因此需要选择符合要求规格的电路结构（拓 …

Silicon wafers are moved from cassettes to the process chamber by a handling robot. The cassettes are kept in many cases in carrier boxes, which protect the cassettes from particles and dirt - so called SMIF boxes for 200mm wafers and FOUP boxes for 300mm wafers.

2022年3月21日 · 在 12寸工厂里，由于wafer 自身重量的增加，导致人工搬送异常困难，故由 AMHS 系统 取而代之直接将 wafer 搬送到生产设备，这种方式极大减轻了生产一线操作人员的工作强度，同时又避免了因人为事故造成的损失。

2021年9月28日 · 广泛使用高架式芯片运输车 (OHT)系统将8/12" wafer box (open cassette/FOUP)从一组设备运送到另一组。 AMHS的搬送一般分为Interbay和Intr...