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Warsash Scientific
ALD Atomic Layer Deposition - Thin Films and Nanotechnology
Video courtesy of Beneq. ALD is based on surface controlled thin film deposition. During coating, two or more chemical vapors or gaseous precursors react sequentially on the substrate surface, producing a solid thin film. Most ALD coating systems utilize a flow--through traveling wave setup, where an inert carrier gas flows through the system ...
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