「原子層堆積（ALD)技術による薄膜形成」
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「原子層堆積（ALD)技術による薄膜形成」
第5回 微細加工プロセス技術セミナー（2021年1月13日） 【チュートリアル】 講師：北海道大学 松尾保孝 原子層堆積（Atomic Layer Deposition：ALD）による薄膜作製技術は絶縁酸化薄膜形成のみならず、ガスバリア等にも応用展開が期待されています。本セミナーで ...
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